0146-1-12

Monokristalline Targets aus hochreinen schwer schmelzenden Metallen

Das Projekt ist ausgerichtet auf die Herstellung von Konstruktionsmaterialen auf der Basis hochreiner Metalle und Legierungen zur Anwendung in der Mikro- und Nanoelektronik sowie anderer moderner Technologien.

Die wissenschaftlich-technische Grundlage des Projektes liegt in den Prozessen der tiefen Reinigung von Metallen, der Erzeugung von Monokristallen und der Erhöhung der technologischen Plastizität der Metalle bei ihrer Verarbeitung. Im Ergebnis des Projektes werden neue Technologien zur Herstellung bedampfter Targets aus Übergangsmetallen (Mo,W,Ti,Ni,V u.a.) zur Dünnschichtmetallisierung beispielsweise von Super-IC's (Größe, Fläche) entwickelt.

Weiterhin wird eine neue Züchtungsanlage entwickelt, die strengsten internationalen Standards genügt.

Im Rahmen des Projektes werden Muster von Magnet- und Kathodentarget hochreiner Metalle hergestellt, die Metalle und die aus ihnen hergestellten Erzeugnisse attestiert und unter realen Industriebedingungen erprobt. Des weiteren werden optimale umweltfreundliche Methoden zur Behandlung abgearbeiteter Targets erarbeitet.

Entwicklungsstand

Es wurde bereits eine innovative Elektronenkanone entwickelt, die erstmals in der Praxis es ermöglicht, die Prozesse der Raffinierung und Züchtung großer Kristalle mittels eine zonalen Schmelzung mit einer "schwimmenden" Zone bei beliebigen vorgegebenen Parametern auszuführen.

Anwendungsmöglichkeiten

  • Dünnschichtmetallisierung
  • Mikroelektronik
  • Nanoelektronik